因為本人對這方面不懂,想請教各位一些比較菜的問題,先說一下情況
所在的實驗室,是做功能材料的生長,比如在硅片上長薄膜材料,生長時需要對硅片進行加熱,
硅片是放在鉬托盤上,托盤是旋轉(zhuǎn)的。現(xiàn)在是采用電阻絲加熱的方式,老師想改成感應(yīng)加熱的方式。
基本的要求都在下面的圖里,不知道這些要求容易達到不?能不能直接購買到符合要求的成品設(shè)備,還是需要定做?
謝謝您的關(guān)注,
這個沒有嚴格的時間要求,半個小時內(nèi)能達到都可以。
我們并不要求快。
而且目前溫度能到800度已經(jīng)夠用了。
請聯(lián)系13583213318 我可以幫你搞定
我以前做這類設(shè)備是用碘鎢燈做襯底加熱的 做淀積 刻蝕 濺射之用的
這個要求用感應(yīng)加熱可以實現(xiàn) 電壓是不能太高 高了會打火