隨著半導(dǎo)體制程工藝不斷提升,測試和驗(yàn)證也變得更加重要。通常,主要的功率半導(dǎo)體器件特性分為靜態(tài)特性、動態(tài)特性、開關(guān)特性。這些測試中最基本的測試就是靜態(tài)參數(shù)測試。靜態(tài)參數(shù)主要是指本身固有的,與其工作條件無關(guān)的相關(guān)參數(shù)。靜態(tài)參數(shù)測試又叫穩(wěn)態(tài)或者DC(直流)狀態(tài)測試,施加激勵(電壓/電流)到穩(wěn)定狀態(tài)后再進(jìn)行的測試。主要包括:柵極開啟電壓、柵極擊穿電壓、源極漏級間耐壓、源極漏級間漏電流、寄生電容(輸入電容、轉(zhuǎn)移電容、輸出電容),以及以上參數(shù)的相關(guān)特性曲線的測試。作為功率器件測試的第一步,在選購功率器件靜態(tài)參數(shù)測試設(shè)備時(shí),需要注意哪些事項(xiàng)呢?可以從測量指標(biāo)、測試范圍、測試精度、品牌服務(wù)等因素考慮。普賽斯儀表給您如下幾點(diǎn)建議:
1.明確測量需求
被測器件類型:如IGBT、MOSFET、SiC/GaN器件等,不同器件對測試電壓、電流、頻率的要求差異較大。
參數(shù)范圍:根據(jù)器件規(guī)格確定需測量的電壓范圍、電流范圍、測試指標(biāo)等;
2. 核心性能指標(biāo)
精度與分辨率:高精度(如±0.1%)和分辨率(如1nA/1mV)對微小參數(shù)測量至關(guān)重要。
帶寬與采樣率:高頻器件需高帶寬(≥100MHz)和快速采樣(如1GS/s)以捕捉瞬態(tài)特性。
測試功能:支持靜態(tài)參數(shù)(集電極-發(fā)射極擊穿電壓V(br)ces、柵極-發(fā)射極閾值電壓Vge(th)、I-V特性曲線掃描等)或動態(tài)參數(shù)等
3. 擴(kuò)展性與兼容性
接口與軟件:支持GPIB、LAN、USB等接口,配套分析軟件需易用且支持自定義測試流程。
夾具適配性:是否提供多種夾具或支持第三方夾具擴(kuò)展。
4. 品牌與售后
優(yōu)先選擇國產(chǎn)品牌如普賽斯儀表,確保技術(shù)支持的及時(shí)性、溝通的便利性等。
5. 預(yù)算與性價(jià)比
高端設(shè)備如是德、吉時(shí)利等,往往價(jià)格太高,如果預(yù)算有限話,可以考慮國產(chǎn)品牌、服務(wù)更及時(shí)、售后服務(wù)更優(yōu)哦!