CP是把壞的Die挑出來,可以減少封裝和測試的成本。可以更直接的知道Wafer 的良率。FT是把壞的chip挑出來;檢驗封裝的良率。
現在對于一般的wafer工藝,很多公司多把CP給省了;減少成本。
CP對整片Wafer的每個Die來測試,而FT則對封裝好的Chip來測試。
CP Pass 才會去封裝。然后FT,確保封裝后也Pass。
WAT是Wafer AcceptanceTest,對專門的測試圖形(test key)的測試,通過電參數來監控各步工藝是否正常和穩定;
CP是wafer level的chip probing,是整個wafer工藝,包括backgrinding和backmetal(if need),對一些基本器件參數的測試,如vt(閾值電壓),Rdson(導通電阻),BVdss(源漏擊穿電壓),Igss(柵源漏電流),Idss(漏源漏電流)等,一般測試機臺的電壓和功率不會很高;
FT是packaged chip level的Final Test,主要是對于這個(CPpassed)IC或Device芯片應用方面的測試,有些甚至是待機測試;
Pass FP還不夠,還需要做process qual 和product qual
CP 測試對Memory來說還有一個非常重要的作用,那就是通過MRA計算出chip level的Repair address,通過Laser Repair將CP測試中的Repairable die 修補回來,這樣保證了yield和reliability兩方面的提升。
CP是對wafer進行測試,檢查fab廠制造的工藝水平;FT是對package進行測試,檢查封裝廠制造的工藝水平。
對于測試項來說,有些測試項在CP時會進行測試,在FT時就不用再次進行測試了,節省了FT測試時間;但是有些測試項必須在FT時才進行測試(不同的設計公司會有不同的要求)
一般來說,CP測試的項目比較多,比較全;FT測的項目比較少,但都是關鍵項目,條件嚴格。但也有很多公司只做FT不做CP(如果FT和封裝yield高的話,CP就失去意義了)。
在測試方面,CP比較難的是探針卡的制作,并行測試的干擾問題。FT相對來說簡單一點。還有一點,memory測試的CP會更難,因為要做redundancy analysis,寫程序很麻煩。